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“微纳米加工技术及应用”研究团队
日期:2024-11-06 信息来源: 科研处 点击数:

2021年获“江苏省高等学校优秀科技创新团队”,依托“江苏省纳米加工公共服务平台”,致力于射频器件、MEMS器件、人工智能芯片和生物芯片等方面的微纳加工技术开发和应用研究,在芯片原子钟物理系统制备技术开发、MEMS器件研究和制备等方面取得了系列创新性研究成果,助力区域微纳米平台加工技术升级。


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